- Titre
- MOEMS for near field optical microscopy: from conception to fabrication process challenges
- Créateurs - sans rôle
- P. Falgayrettes - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESP. Gall-Borrut - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESA. TsigaraB. Belier - Institut d'Electronique FondamentaleF. Maillard
- Colloque
- DTIP, Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (Montpellier, France, 2015)
- Identifiants
- 9939419009311
- Unité académique
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01922747
Acte de colloque
MOEMS for near field optical microscopy: from conception to fabrication process challenges
DTIP, Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (Montpellier, France, 2015)
Indicateurs
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