- Titre
- Laser interference lithography for the collective fabrication of quartz-microcylinders
- Créateurs - sans rôle
- Z. Santybayeva - Université de Montpellier, Centre de Biologie Structurale - CBSC. de Marin - InsermF. Pedaci - Université de Montpellier, Centre de Biologie Structurale - CBSA. Meghit - Université de MontpellierR. Teissier - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESF. Pichot - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESBenoît Charlot - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Détails de publication
- 2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), pp.1-5
- Colloque
- 2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) (Budapest, Hungary, 30/05/2016–02/06/2016)
- Identifiants
- 9944414409311
- Unité académique
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES; Centre de Biologie Structurale - CBS
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-02091429
Acte de colloque
Laser interference lithography for the collective fabrication of quartz-microcylinders
2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), pp.1-5
2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) (Budapest, Hungary, 30/05/2016–02/06/2016)
Indicateurs
1 Consultations de la notice