- Titre
- Investigation on the Effect of Geometrical Dimensions on the Conductive Behaviour of a MEMS Convective Accelerometer
- Créateurs - sans rôle
- Ahmed Rekik - Université de Montpellier, Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMMBrahim Mezghani - Département de Génie Électrique de Sfax [ENIS]Florence Azaïs - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesNorbert Dumas - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesMohamed Masmoudi - Département de Génie Électrique de Sfax [ENIS]Frédérick Mailly - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesPascal Nouet - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
- Détails de publication
- DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, pp.14-17
- Colloque
- DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (Aix-en-Provence, France)
- Identifiants
- 99151823509311
- Unité académique
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- lirmm-00632610
Acte de colloque
Investigation on the Effect of Geometrical Dimensions on the Conductive Behaviour of a MEMS Convective Accelerometer
DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, pp.14-17
DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (Aix-en-Provence, France)
11/05/2011
Indicateurs
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