Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers

Acte de colloque

Roxana Arvinte, Marc Zielinski, Thierry Chassagne, Marc Portail, Adrien Michon, Pawel Kwasnicki, Sandrine Juillaguet et Herve Peyre

Materials Sciences Forum, Vol.806, pp.45 - 50

HETEROSIC 2013 (Nice, France, 13/06/2013)

10/2014

Résumé

Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers

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Titre: Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers
Créateurs - sans rôle: Roxana Arvinte
Marc Zielinski - Savoie Technolac
Thierry Chassagne - NOVASiC (France)
Marc Portail - Centre de Recherche sur l'Hétéro-Epitaxie et ses Applications
Adrien Michon - Centre de Recherche sur l'Hétéro-Epitaxie et ses Applications
Pawel Kwasnicki - Université de Montpellier, Laboratoire Charles Coulomb - L2C
Sandrine Juillaguet - Université de Montpellier, Laboratoire Charles Coulomb - L2C
Herve Peyre - Université de Montpellier, Laboratoire Charles Coulomb - L2C
Détails de publication: Materials Sciences Forum, Vol.806, pp.45 - 50
Colloque: HETEROSIC 2013 (Nice, France, 13/06/2013)
Identifiants: 9944232709311
Unité académique: Laboratoire Charles Coulomb - L2C
Langue: English
Type de ressource: Conference proceeding
Champs locaux: hal-01936612