InAs/GaSb thin layers directly grown on nominal (001)-Si substrate by MOCVD for the fabrication of InAs FINFET

Tiphaine Cerba; Mickaël Martin; Jeremy Moeyaert; Reynald Alcotte; Bassem Salem; Etienne Eustache; Philippe Bézard; Xavier Chevalier; Geoffrey Lombard; Franck Bassani; Sylvain David; Jean-Luc Rouvière; George Beainy; Laurent Cerutti; Jean-Baptiste Rodriguez; Eric Tournié; Hervé Boutry; Bawedin M.; Thierry Baron

Acte de colloque

InAs/GaSb thin layers directly grown on nominal (001)-Si substrate by MOCVD for the fabrication of InAs FINFET

Tiphaine Cerba, Mickaël Martin, Jeremy Moeyaert, Reynald Alcotte, Bassem Salem, Etienne Eustache, Philippe Bézard, Xavier Chevalier, Geoffrey Lombard, Franck Bassani, …

19th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE 2018) (Nara, Japan, 03/06/2018–06/06/2018)

Fichiers et liens (1)

url

Find in HALAfficher

Indicateurs

1 Consultations de la notice

Détails

Titre: InAs/GaSb thin layers directly grown on nominal (001)-Si substrate by MOCVD for the fabrication of InAs FINFET
Créateurs - sans rôle: Tiphaine Cerba - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Mickaël Martin - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Jeremy Moeyaert - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Reynald Alcotte - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Bassem Salem - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Etienne Eustache - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Philippe Bézard - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Xavier Chevalier - Arkema
Geoffrey Lombard - Arkema
Franck Bassani - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Sylvain David - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Jean-Luc Rouvière - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
George Beainy - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Laurent Cerutti - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Jean-Baptiste Rodriguez - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Eric Tournié - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Hervé Boutry - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Bawedin M. - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
Thierry Baron - Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
Colloque: 19th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE 2018) (Nara, Japan, 03/06/2018–06/06/2018)
Identifiants: 99110370909311
Unité académique: Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Langue: English
Type de ressource: Conference proceeding
Champs locaux: hal-01954906