- Titre
- Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures
- Créateurs - sans rôle
- Muriel Dardalhon - Université de Montpellier, Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMMMarc-Olivier DzeukouVincent Beroulle - Université de Montpellier, Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMMLaurent Latorre - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesPascal Nouet - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesGuy Perez - Centre National d'Études SpatialesCoumar Oudéa - Airbus Defence and Space [Les Mureaux]
- Colloque
- CANEUS (Montreal, Canada, 25/08/2002–30/08/2002)
- Identifiants
- 9942406809311
- Unité académique
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- lirmm-00269356
Acte de colloque
Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures
CANEUS (Montreal, Canada, 25/08/2002–30/08/2002)
2002
Indicateurs
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