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Identification du coefficient d'échange convectif par la méthode du gradient conjugué dans un procédé de dépôt assisté plasma (PACVD)
Acte de colloque   Open Access

Identification du coefficient d'échange convectif par la méthode du gradient conjugué dans un procédé de dépôt assisté plasma (PACVD)

Sébastien Rouquette, Laurent Autrique, Charles Chaussavoine et Laurent Thomas
Congrès de la société française de thermique (Vittel, France, 03/06/2002–06/06/2002)

Résumé

probleme inverse coefficient echange convectif pacvd
Dans cette communication, un modèle décrivant l’évolution thermique du substrat à revêtir par un procédé de dépôt chimique en phase gazeuse assisté plasma est proposé. A l’aide d’informations fournies par des thermocouples, une technique inverse est mise en œuvre pour l’identification du coefficient d’échange convectif. La méthode présentée consiste à la minimisation d’un critère quadratique par l’algorithme du gradient conjugué.

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