- Titre
- Highly sensitive capacitive MEMS for photoacoustic gas sensing
- Créateurs - sans rôle
- Tarek Seoudi - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESJulien Charensol - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESFanny Pagès - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESDiba Ayache - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESEric Rosenkrantz - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESAurore Vicet - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESMichael Bahriz - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Colloque
- Micro and Nano Engineering Conference (Montpellier, France, 16/09/2024–19/09/2024)
- Note de subvention
- This research was financially supported by Region Languedoc Roussillon, European Community (FEDER) and Renatech, Agence Nationale de la Recherche, and NOMADE Project No.
- Identifiants
- 9935107809311
- Unité académique
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-04751728
Acte de colloque
Highly sensitive capacitive MEMS for photoacoustic gas sensing
Micro and Nano Engineering Conference (Montpellier, France, 16/09/2024–19/09/2024)
Indicateurs
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