- Titre
- Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives
- Créateurs - sans rôle
- V. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMJean Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Colloque
- Matériaux 2002 (Tous, France, 21/10/2002)
- Identifiants
- 9942476909311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- French
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01741486
Acte de colloque
Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives
Matériaux 2002 (Tous, France, 21/10/2002)
Indicateurs
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