Fabrication de micro-résonateurs 2.5D sur organiques par combinaison de processus couches minces

Daphné Duval; Abdelkader Zebda; Lionel Camberlein; Christian Godet; Etienne Gaviot; Joseph Zyss; Guy Jézéquel; Anne Renault; Franck Artzner; Bruno Bêche

Acte de colloque

Fabrication de micro-résonateurs 2.5D sur organiques par combinaison de processus couches minces

Daphné Duval, Abdelkader Zebda, Lionel Camberlein, Christian Godet, Etienne Gaviot, Joseph Zyss, Guy Jézéquel, Anne Renault, Franck Artzner et Bruno Bêche

Journées Nationales de l Optique Guidée - JNOG, pp.55-57

Journées Nationales de l Optique Guidée (Lannion, France, 20/10/2008–22/10/2008)

2008

Résumé

mode de galerie

polymère SU8

traitement plasma

micro-résonateur

mode de galerie.

Les polymères tels que le SU8 (biphénol A d'éther glycidyle), le PS233 (polysilane) et le matériau SOG (siloxane Spin On Glass) peuvent être utilisés conjointement dans la fabrication par processus couches minces de micro-résonateurs (MR) photoniques 2.5D. Cependant, ces matériaux n'étant pas toujours compatibles entre eux, il a été nécessaire d'inclure et d'optimiser des traitements plasmas au sein des processus couches minces de manière à augmenter l'adhérence et à permettre un développement sélectif de multicouches organiques en structures de type MR 2.5D disques et anneaux.

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Détails

Titre: Fabrication de micro-résonateurs 2.5D sur organiques par combinaison de processus couches minces
Créateurs - sans rôle: Daphné Duval - Institut de Physique de Rennes
Abdelkader Zebda - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
Lionel Camberlein - Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans
Christian Godet - Institut de Physique de Rennes
Etienne Gaviot - Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans
Joseph Zyss - Laboratoire de Photonique Quantique et Moléculaire
Guy Jézéquel - Institut de Physique de Rennes
Anne Renault - Institut de Physique de Rennes
Franck Artzner - Groupe matière condensée et matériaux
Bruno Bêche - Institut de Physique de Rennes
Détails de publication: Journées Nationales de l Optique Guidée - JNOG, pp.55-57
Colloque: Journées Nationales de l Optique Guidée (Lannion, France, 20/10/2008–22/10/2008)
Identifiants: 99150634809311
Unité académique: Institut Européen des Membranes - IEM
Langue: French
Type de ressource: Conference proceeding
Champs locaux: hal-00652797