- Titre
- Etude électrique et physique à l’échelle nanométrique des couches minces de SiO2 thermique sous différentes atmosphères
- Créateurs - sans rôle
- Wael Hourani - Franche-Comté Électronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et TechnologiesBrice Gautier - INL - Dispositifs ElectroniquesLiviu Militaru - INL - Dispositifs ElectroniquesDavid Albertini - INL - Plateforme Technologique NanolyonArmel Descamps-Mandine - Matériaux Ingénierie et ScienceAntonin Grandfond - INL - Dispositifs ElectroniquesRichard Arinero - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Colloque
- Forum des microscopies à sondes locales (Ecully, France, 03/2011)
- Identifiants
- 9974175909311
- Unité académique
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01814134
Acte de colloque
Etude électrique et physique à l’échelle nanométrique des couches minces de SiO2 thermique sous différentes atmosphères
Forum des microscopies à sondes locales (Ecully, France, 03/2011)
Indicateurs
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