Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés

Acte de colloque

P. Supiot, Céline Vivien, V. Rouessac et S. Roualdes

Actes de MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux, pp.1-4

MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux

2010

Indicateurs

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Titre: Dépôt de polymères organosiliciés par PECVD et RPECVD sur substrats structurés
Créateurs - sans rôle: P. Supiot - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Céline Vivien
V. Rouessac
S. Roualdes
Détails de publication: Actes de MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux, pp.1-4
Colloque: MATERIAUX 2010, Conférence pluridisciplinaire sur les matériaux
Éditeur: _
Identifiants: 99139128009311
Unité académique: Institut Européen des Membranes - IEM
Langue: French
Type de ressource: Conference proceeding