- Titre
- Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems
- Créateurs - sans rôle
- Cédric Ayela - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des SystèmesEric Cattan - Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologieCaroline Soyer - Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologieChristian Bergaud - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des SystèmesMartine Pugnière - Université de Montpellier, Institut de Recherche en Infectiologie de Montpellier - IRIMLiviu Nicu - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
- Détails de publication
- MRS 2005 fall meeting
- Colloque
- MRS fall meeting (Boston, United States, 28/11/2005)
- Identifiants
- 9940943809311
- Unité académique
- Institut de Recherche en Cancérologie de Montpellier - IRCM; Institut de Recherche en Infectiologie de Montpellier - IRIM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00399522
Acte de colloque
Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems
MRS 2005 fall meeting
MRS fall meeting (Boston, United States, 28/11/2005)
28/11/2005
Indicateurs
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