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"Des couches minces PECVD a-SiCXNY:H aux membranes permsélectives à l'hydrogène"
Acte de colloque

"Des couches minces PECVD a-SiCXNY:H aux membranes permsélectives à l'hydrogène"

V. Rouessac, W. Kafrouni, A. Julbe et J. Durand
Journées Annuelles de la SF2M (Société Française des Matériaux et de Métallurgie) (Paris (ENSAM), France, 04/06/2008)

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