- Titre
- Deposition of Aluminium Nitride films by Plasma enhanced chemical vapour deposition
- Créateurs - sans rôle
- Sélim Dagdag - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMJoel Alexis - Laboratoire Génie de ProductionJ.D. BeguinJ.A. PetitV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMJean Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMMarc Ferrato - Boostec
- Colloque
- 18th Int. Conf. on Surface Modification Technologies (SMT18) (Dijon, France, 15/11/2004)
- Identifiants
- 99112018509311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01741696
Acte de colloque
Deposition of Aluminium Nitride films by Plasma enhanced chemical vapour deposition
18th Int. Conf. on Surface Modification Technologies (SMT18) (Dijon, France, 15/11/2004)
Indicateurs
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