Couches minces de nitrure de tantale élaborées par PVD

Acte de colloque

Florent Bernard, Nicole Fréty, Julien Nazon, Joël Sarradin et Jean-Claude Tedenac

Journées du Groupe Français de la Céramique (Toulouse, France, 14/03/2006)

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Titre: Couches minces de nitrure de tantale élaborées par PVD
Créateurs - sans rôle: Florent Bernard
Nicole Fréty - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
Julien Nazon
Joël Sarradin
Jean-Claude Tedenac - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
Colloque: Journées du Groupe Français de la Céramique (Toulouse, France, 14/03/2006)
Identifiants: 99174317009311
Unité académique: Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
Langue: English
Type de ressource: Conference proceeding
Champs locaux: hal-00186597