- Titre
- Couches minces de nitrure de tantale pour barrières de diffusion entre cuivre et silicium,
- Créateurs - sans rôle
- Julien NazonFlorent BernardJoêl SarradinJean-Claude Tedenac - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMNicole Fréty - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Colloque
- Matériaux 2006 (Dijon, France, 13/11/2006)
- Identifiants
- 99174190509311
- Unité académique
- Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00186592
Acte de colloque
Couches minces de nitrure de tantale pour barrières de diffusion entre cuivre et silicium,
Matériaux 2006 (Dijon, France, 13/11/2006)
Indicateurs
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