- Titre
- Copper diffusion into silicon substrates through TaN and Ta/TaN multilayer barriers
- Créateurs - sans rôle
- Nicole Fréty - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMFlorent BernardJulien NazonJoël SarradinJean-Claude Tedenac - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Colloque
- TMS 2006 (The Minerals, Metals & Materials Society), 135th Annual Meeting (United States, 12/03/2006)
- Identifiants
- 99174190309311
- Unité académique
- Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00186589
Acte de colloque
Copper diffusion into silicon substrates through TaN and Ta/TaN multilayer barriers
TMS 2006 (The Minerals, Metals & Materials Society), 135th Annual Meeting (United States, 12/03/2006)
Indicateurs
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