- Titre
- Control of 3C-SiC/Si wafer bending by the "checker-board" carbonization method
- Créateurs - sans rôle
- Thierry Chassagne - NOVASiC (France)Gabriel Ferro - Université Claude Bernard Lyon 1H. Haas - Centre National de la Recherche ScientifiqueH. Mank - NOVASiC (France)André Leycuras - Centre National de la Recherche ScientifiqueYves Monteil - Laboratoire des Multimatériaux et InterfacesFillip Soares - Centre National de la Recherche ScientifiqueCarole Balloud - Centre National de la Recherche ScientifiquePhilippe Arcade - Université de MontpellierCaroline Blanc - Université de MontpellierHervé Peyre - Université de MontpellierSandrine Juillaguet - Université de MontpellierJean Camassel - Centre National de la Recherche Scientifique
- Détails de publication
- Physica status solidi. A. Applied research, Vol.202(4), pp.524-530
- Colloque
- International Workshop on Expert Evaluation & Control of Compound Semiconductor Materials & Technologies (EXMATEC 2004) (MONTPELLIER, France, 01/06/2004–04/06/2004)
- Identifiants
- 9941314309311
- Unité académique
- Université de Montpellier
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00389901
Acte de colloque
Control of 3C-SiC/Si wafer bending by the "checker-board" carbonization method
Physica status solidi. A. Applied research, Vol.202(4), pp.524-530
International Workshop on Expert Evaluation & Control of Compound Semiconductor Materials & Technologies (EXMATEC 2004) (MONTPELLIER, France, 01/06/2004–04/06/2004)
2005
Indicateurs
1 Consultations de la notice