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Contribution des IBA à l'étude des performances chimiques et mécaniques de couches minces d'oxycarbonitrure de silicium pour le stockage de médicament
Acte de colloque

Contribution des IBA à l'étude des performances chimiques et mécaniques de couches minces d'oxycarbonitrure de silicium pour le stockage de médicament

Babacar Diallo, Farah Inoubli, Raphaël Laloo, Konstantina Christina Topka, Brigitte Caussat, Viviane Turq, Thierry Sauvage et Nadia Pellerin
IBAF (Cap Ferret, France, 10/2024–10/2024)

Résumé

Couches minces Oxycarbonitrures de silicium IBA NRA ERDA Nanoindentation

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