- Titre
- Chemical etching of gallium orthophosphate: application to piezoelectric device manufacturing
- Créateurs - sans rôle
- Nathalie Prud'Homme - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMDanièle Cachau-Herreillat - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMPhilippe Papet - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMOlivier Cambon - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Détails de publication
- Journal de Physique IV Proceedings, Vol.126, pp.107-112
- Colloque
- 4th European Workshop on Piezoelectric Materials (France, 21/07/2004)
- Identifiants
- 9947731409311
- Unité académique
- Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00384361
Acte de colloque
Chemical etching of gallium orthophosphate: application to piezoelectric device manufacturing
Journal de Physique IV Proceedings, Vol.126, pp.107-112
4th European Workshop on Piezoelectric Materials (France, 21/07/2004)
2005
Indicateurs
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