- Titre
- Affiche : "Pore-sealing study by ellipsometric porosimetry on a porous low k - effect of plasma tretaments and wet cleaning"
- Créateurs - sans rôle
- W. PuyrenierL. BroussousA. Ayral - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMC. Pernel
- Colloque
- Materials for Advanced Metallization Conference 2006 (Grenoble, France, 2006)
- Identifiants
- 99151692609311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00080150
Acte de colloque
Affiche : "Pore-sealing study by ellipsometric porosimetry on a porous low k - effect of plasma tretaments and wet cleaning"
Materials for Advanced Metallization Conference 2006 (Grenoble, France, 2006)
2006
Indicateurs
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