- Titre
- Affiche : "Characterization of the impact of plasma treatments and wet cleaning on a porous low k material"
- Créateurs - sans rôle
- W. PuyrenierV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEML. BroussousD. RebiscoulA. Ayral - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Colloque
- MAM 2006 (Grenoble, France, 2006)
- Identifiants
- 99151808609311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00080070
Acte de colloque
Affiche : "Characterization of the impact of plasma treatments and wet cleaning on a porous low k material"
MAM 2006 (Grenoble, France, 2006)
2006
Indicateurs
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