- Titre
- ALD on 3D Si substrates for optical biosensors applications
- Créateurs - sans rôle
- V. Fedorenko - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMSebastien Balme - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMMikhael Bechelany - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Colloque
- Nanoschool (Vilnius, Lithuania, 06/10/2015)
- Identifiants
- 9945928009311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01703955
Acte de colloque
ALD on 3D Si substrates for optical biosensors applications
Nanoschool (Vilnius, Lithuania, 06/10/2015)
Indicateurs
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