- Titre
- A robust and reliable RF-MEMS switch fabricated thanks to an original dielectric free design and an innovative process flow IEEE Sensors 2013, 3-6 Nov. 2013, Baltimore, USA.
- Créateurs - sans rôle
- Frédéric Souchon - Université de Montpellier, Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMMB. ReigC. Dieppedale - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesH. SibuetB. Blampey - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et PhotoniqueJ.-M. Duchamp - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
- Détails de publication
- IEEE Sensors 2013, pp.1-4
- Colloque
- IEEE Sensors 2013 (Baltimore, United States, 03/11/2013–06/11/2013)
- Identifiants
- 99150870609311
- Unité académique
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00997170
Acte de colloque
A robust and reliable RF-MEMS switch fabricated thanks to an original dielectric free design and an innovative process flow IEEE Sensors 2013, 3-6 Nov. 2013, Baltimore, USA.
IEEE Sensors 2013, pp.1-4
IEEE Sensors 2013 (Baltimore, United States, 03/11/2013–06/11/2013)
2013
Indicateurs
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