- Titre
- A dual-axis CMOS frontside bulk micromachined thermal accelerometer
- Créateurs - sans rôle
- A. Garraud - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESAlain Giani - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESP. Combette - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESBenoit Charlot - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESMurielle Richard - Department of Physics and Astronomy [Lawrence, Kansas]
- Colloque
- Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2010 (Séville, Spain, 2010)
- Identifiants
- 9945113609311
- Unité académique
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-02056486
Acte de colloque
A dual-axis CMOS frontside bulk micromachined thermal accelerometer
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2010 (Séville, Spain, 2010)
Indicateurs
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