- Titre
- A Study of Package Effects on the Behavior of MEMS Convective Accelerometers
- Créateurs - sans rôle
- Ahmed Rekik - Université de Montpellier, Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMMFlorence Azaïs - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesNorbert Dumas - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesMohamed Masmoudi - Département de Génie Électrique de Sfax [ENIS]Frédérick Mailly - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesPascal Nouet - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
- Détails de publication
- DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, pp.6-9
- Colloque
- DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (Seville, Spain)
- Identifiants
- 99151631309311
- Unité académique
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- lirmm-00489026
Acte de colloque
A Study of Package Effects on the Behavior of MEMS Convective Accelerometers
DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, pp.6-9
DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (Seville, Spain)
2010
Indicateurs
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