Abstract
Le projet MISHY (2010-2014) a pour objectif le développement de membranes de carbonitrure de silicium permsélectives à l’hydrogène obtenues par CVD assisté par plasma micro-ondes (MO-PECVD). Le consortium de ce projet est composé d’Air Liquide, coordinateur du projet, leader mondial des gaz industriels, d’IREIS HEF groupe spécialisé dans le traitement de surface par PVD et PECVD, de CTI, PME produisant des les céramiques industrielles en particulier pour les applications de traitement des gaz, et de l’IEM, Institut Européen des Membranes, qui a mené les premières études prospectives sur ce type de membrane [1]. Au cours de ce projet, différentes tâches ont été réalisées : - conception et mise au point de supports tubulaires céramiques à porosité asymétrique ; - conception et réalisation d’un réacteur de laboratoire permettant de déposer une couche mince par PECVD sur un support tubulaire mésoporeux ; - transfert des résultats précédemment obtenus sur des membranes laboratoires par PECVD à basse fréquence (BF) ; - modélisation microstructurale et relation propriété-structure des dépôts BF-PECVD [2] ; - optimisation des paramètres MO-PECVD (température du support, proportion des gaz réactifs, puissance électrique) pour obtenir une membrane a-SiCN:H permsélective à l’hydrogène à l’échelle laboratoire ; - transfert à l’échelle industrielle dans un réacteur pré-industriel MO-PECVD ; - conception et réalisation d’un module membranaire multi tubes ; - intégration de ces membranes dans une unité de production de H2 par vaporeformage du méthane et évaluation des gains potentiels. [1] W. Kafrouni, V. Rouessac, A. Julbe, J. Durand, J. Membr. Sci. 329 (2009) 130–137. [2] R. Coustel, M. Haacké, V. Rouessac, J. Durand, M. Drobek, A. Julbe, Microporous Mesoporous Mat. 191 (2014) 97-102.