Abstract
Nous présentons les premières avancées technologiques concernant l'intégration d'une source ICL émettant à 4 µm sur une plateforme SiGe par la méthode du micro transfert printing.
- Title
- Intégration par Micro-Transfer-Printing de source ICL sur plateforme photonique Si/SiGe
- Creators - without role
- Yannis Billiet - Institut des Nanotechnologies de LyonCéline Chevalier - INL - Plateforme Technologique NanolyonXavier Letartre - INL - NanophotoniqueJean -Louis Leclercq - Institut des Nanotechnologies de LyonPierre Cremillieu - Institut des Nanotechnologies de LyonRadoslaw Mazurczyk - Institut des Nanotechnologies de LyonChristian Grillet - INL - NanophotoniqueEric Tournié - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESMaxime Lepage - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesBadhise Ben Bakir - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesVincent Reboud - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesNicolas Bresson - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesJean-Michel Hartmann - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesLaurent Cerutti - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESChristian Seassal - INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum)
- Conference
- Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en Micro-Nanofabrication (Saint etienne, France, 27/11/2024–29/11/2024)
- Identifiers
- 9940712409311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- French
- Resource Type
- Conference poster
- Local Fields
- hal-04865345