- Titre
- MEMS monolithiques.
- Créateurs - sans rôle
- Laurent Latorre - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesVincent Beroulle - Laboratoire de Conception et d'Intégration des SystèmesYves Bertrand - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesPascal Nouet - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
- Détails de publication
- Hermès science publication, Vol.1(1)
- Publications en série
- Nano et Micro Technologies, micro-capteurs et microsystèmes intégrés
- Identifiants
- 99150408209311
- Unité académique
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Mtp - LIRMM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Book chapter
- Champs locaux
- hal-01105274
Chapitre d'ouvrage
MEMS monolithiques.: Application à la mesure du champ magnétique
Hermès science publication, Vol.1(1)
Nano et Micro Technologies, micro-capteurs et microsystèmes intégrés
2000
Indicateurs
1 Consultations de la notice